




这款双轴数字水平仪(有线连接)具有极高的精度,同时重量也很轻。与普通水平仪相比,其数字显示屏使得现场调整工作更加便捷。此外,显示屏与水平传感器通过线路相连,因此可以从远处进行测量。由于重量轻,它可以在处理晶圆的敏感区域进行使用。屏幕上会显示气泡图,这样就可以像使用传统气泡水平仪一样进行调整。数字显示屏还能避免不同操作人员带来的测量误差。
功能特点
01 X轴和Y轴的角精度为±0.001度(17.5微弧度/米)
02 可用于对垂直间距较小的区域进行层级观测

03 可以立即读取测量结果,且不存在读取误差
04 可同时进行两轴调整,因此即便是初学者也能轻松完成水平校正工作
05 为水平度检测设定一个合适的范围,就能让即使是初学者也能轻松完成水平度调整工作
监控详情

规格
| 传感器部分 | 线性 - 角度 | X方向:±0.3度 Y方向:±0.3度 |
| 测量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零重复性 | 低于±0.001度 | |
| 响应速度 | 低于50ms | |
| 工作温度 | -10℃~+50℃ | |
| 身体部位 | 微控制器 | 32位 |
| A/D部分 | 14位 | |
| 测量范围 | ±0.3度 | |
| A/D分辨率 | 0.000025度 | |
| 显示单元 | 0.0001度 | |
| 通过范围设置范围 | 0.0001度 | |
| 范围切换 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| OVER显示 | 0.3度或以上 | |
| 功能 | 传感器连接数量 | 1个ch |
| 显示部分 | 4.3英寸彩色LCD触摸屏 | |
| 480 x 272点 | ||
| 电源 | 专用交流适配器,DC6V/2A | |
| 4节AA干电池(1.5V) | ||
| 尺寸 | 监控器 | W96×D36×H145mm |
| 传感器(SUS材质基座) | φ50×H19mm | |
| 电缆 | 2m | |
| 重量 | 监控器 | 392g |
| 传感器 | 70g | |
| 配件 | AA干电池(1.5伏),4节。 | |
| 专用交流适配器,DC6V/2A | ||
| 使用手册 | ||
| 保修 |