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CVD 真空化学气相沉积设备详情
CVD设备适用于热丝法化学气相沉积金刚石，采用钨丝/钽丝作为加热器，加热分解碳物质，激活化学气相反应，制备金刚石膜。
安装形式
立式
加热器分布方式
圆周分布
加热器材质
钨丝/钽丝
保温材料
—
MAX温度
3000℃
控温精度
±1℃
均温性
±5℃
极限真空度
5×10-4Pa
均温区尺寸
按客户要求定制
控制方式
自动/手动
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