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Omega-Theta XRD晶向定位
Omega-Theta XRD晶向定位
  • 型号

    Omega-Theta
  • 产地

    荷兰
  • 品牌

  • 产品分类

    半导体行业专用仪器
  • 关注度

    946
  • 参考报价

产品详情

Omega/Theta XRD 用于超快速晶体定向和摇摆曲线测量


10秒内完成晶体取向测定



Omega/Theta XRD为测定晶面取向提供了良好的综合精度和速度。Omega/Theta XRD可在短短 10 秒内返回结果,具有从条形码阅读器到晶体堆叠支架的许多工艺附件,可容纳重量达30kg、长度达 450mm 的一系列样品。它是将测量好的取向转移到加工工具的可靠合作伙伴。


精度:在偏角幅度和面内方向上达到<0.003°/<0.03°的精度(1σ)

  • 10秒内完成晶体取向测定

  • 以3D形式自动评估完整晶格取向


用于研究和生产质量的控制

  • 晶体取向的方位设置和标记

  • 提供多种附件用于将取向转移到其他工艺步骤

  • 通过测角仪实现未知样品的的扫描和定向

  • 可使用摇摆曲线测量进行晶体质量评估


用户友好、性价比高

  • 样品处理方便,操作简单

  • 用户友好的高级软件

  • 能耗和运行成本低



模块化设计和灵活性

  • 通过各种升级选项满足未来需求

  • 根据客户要求为特殊应用定制的解决方案

  • 平边和 V 槽的光学测量

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