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真空气氛箱式炉是一种可在真空或可控气氛环境下进行高温热处理的精密实验设备。该设备采用高洁净度的石英腔体,配合精密的温度控制系统与气体氛围调控系统,能够满足对材料洁净度与处理气氛有严苛要求的工艺。其广泛应用于金属热处理、锂电池材料、半导体及电子材料研发等领域。
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