
卓上型精密涂布装置ED20是一款非常适合用于研发和试制的紧凑型台式设备,其尺寸为W500 x D800mm。由于采用了X-Y移动平台,因此XY轴的重复定位精度可达到±3μm以内。
除双气雾式分配器(全功能型、基础功能型)外,还可配备压电喷射式分配器、螺旋式分配器等各类分配器,因此可广泛用于测试用途。
该设备配备了顶视摄像头、激光位移计以及真空吸附台,还具备自动对焦和工件高度检测功能,这些都是实现高精度涂覆所不可或缺的。作为用于微细涂覆及液体材料测试的研发实验设备,它也是极为理想的型号。
型式 ED20 搭载分配器 双气式分配器,压电喷射式分配器 XY行程 X方向:200mm、Y方向:200mm(平台驱动) XY速度 MAX50mm/s Z速度 MAX30mm/s XYZ重复定位精度 ±3μm XYZ 驱动分解能 1μm 搭载可能工作尺寸 200×200mm以下,t=6mm以下 搭载机器 顶视相机、激光位移计、真空吸附台、互锁机构 图像软件功能 绘图数据创建功能、自动对齐功能、DXF导入功能等 选项机制 侧视摄像头、喷嘴清洗装置、喷嘴尖端位置检测装置
真空泵、控制箱、不锈钢工作台实用工具 电源:100V,700V;洁净干燥空气压力:0.5MPa;真空度 装置尺寸、重量 W500 x D800 x H980mm 重量:100kg以下
±3μm 超高重复定位精度,桌面机型行业高水准
高精度伺服 XY 运动平台,涂布轨迹位置稳定,细线、微点点胶时不会出现轨迹偏移,保障试样涂布一致性。
喷头兼容性强,一台设备适配多种药液工艺
可自由切换气动点胶阀、压电喷射阀、螺杆阀;低粘度液体、中高粘度膏状浆料均可涂布,研发试样一台设备覆盖多方案。
视觉 + 激光测高,自动对位 + 间隙补偿
顶部相机完成工件标记对位;激光位移计自动检测工件表面高度起伏,Z 轴自动补偿,基板轻微翘曲也可获得均匀涂层。
真空吸附工作台,轻薄工件不易移位翘曲
基板吸附固定,涂布过程无滑动,超薄薄膜、晶圆、陶瓷薄片打样时工件保持平整。
紧凑型桌面机身,实验室轻松部署
占地面积小,无需大型厂房空间,研发实验室、洁净台内均可放置使用。
图形化编程,自定义涂布轨迹灵活便捷
电脑软件绘制涂布路径,任意图形画线涂布,配方程序可保存,重复打样工艺可**复现。
半导体基板功能性涂层涂布;陶瓷基板、Si‑SiC、氧化铝基板试样点胶画线;新能源浆料、导电膏、导热胶试样涂布研发;光学元件、薄膜基材精密涂层打样;高校新材料实验室药液性能评价;精密电子零部件密封、粘接试样试制。