氧化铝（Al₂O₃）
[ALP・HALOX]

氧化铝（Al₂O₃）是精密陶瓷中常用的材料。除纯度为99.5%和99.9%的ALP系列产品以外，产品线中新增加了HALOX。

• 电绝缘性

• 耐磨耗性

• 耐热性

• 耐腐蚀性

• 耐等离子性

主要用途

• 半导体制造设备部品（腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘）

• 粉碎机部件（分级机、气流式粉碎机、珠磨机）

• 一般产业用部件（激光加工机喷嘴、转轴、轴承）

• 高精度用，精密用，耐热用冶工具（定位治具、装配夹具）

• 耐磨耗部件（拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨）

• 电绝缘部件（绝缘子、垫片、衬套）

特点

氧化铝是白色或乳白色的陶瓷，利用其优异的电绝缘性能，早期开始即应用在电子部品上，使用量较多，是精密陶瓷中成本很低的材质。
是纯度为99.5%，99.8%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异，可生产大型产品。
此外，由于其具有优异的耐等离子特性，也可用于ＣＶＤ设备或蚀刻设备的部件。

氧化铝

热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。*：热膨胀系数为RT～800℃时的测量数据。
上述特性值不是保证值。特性值如有改良时，恕不另行通知。