静电吸盘是一种利用电场力将物体吸附并固定在位的装置。

静电吸盘通过在陶瓷内部设置的电极上施加电压，使工件与该电极之间产生静电作用力（库仑力或约翰逊-拉贝克力），从而将工件吸附并固定到位。（本产品采用库仑力原理）

陶瓷圆筒静电吸盘

陶瓷ESC卷材

辊体表面材料：陶瓷喷涂（基体材料：氧化铝陶瓷）

由于表面由陶瓷材料构成，因此其耐磨性远远优于其他材质。
得益于陶瓷材料特有的优异热膨胀率，能够有效减少环境温度变化对精度的影响。
由于其具有极高的圆度与同轴度，因此可以实现均匀的吸附效果。
电极层和陶瓷喷涂层是通过特殊工艺制成的，具有高密度和高绝缘性，因此可在高真空环境下使用。
凭借陶瓷材料的特性以及圆柱形结构，该产品重量较轻，从而降低了自身重量带来的变形问题。
可定制的尺寸为MAX Φ-300mm×L-1800mm。