
MILA-5000系列具备红外金镜炉的诸多优点:能够实现快速加热/冷却,同时还能进行清洁式加热。它可以在各种不同的气氛环境中进行加热,是一款结构紧凑、价格低廉的红外灯加热装置,其温度控制器与气氛控制模块为一体设计。
通过USB连接,可在电脑上完成加热操作,从而方便地管理相关数据。
强介电体薄膜的晶体退火
离子注入后的扩散退火、氧化膜生成退火
硅、化合物晶圆的烧结、配向处理
玻璃基板的均匀热处理
热循环、热冲击、热疲劳试验
升温脱理试验用加热炉
催化效应试验
可选择真空、气体、气体流动状态或大气环境等任意氛围
精确的温度控制
台式设计,结构紧凑
可以通过您手中的电脑轻松设置温度程序,以及输入外部信号。
可以将加热过程中的温度数据显示在电脑上。
| 型式 | MILA-5000-P-F (均热型) | MILA-5000-P-N (高温型) | MILA-5000UHV (高温・高真空型) |
|---|---|---|---|
| 温度范围 | RT~800℃ | RT ~ 1200℃ | RT~1000℃ |
| 试样尺寸 | 角 20mm × 厚2mm | ||
| 加热氛围 | 大气中、低真空中、惰性气体中 | 大气中、高真空中、惰性气体中 | |
| 工艺压力 | 10Pa~大气压(RP*1使用,室温无负荷) | 10-4Pa~大气压(TMP*1使用状态,室温且无负荷时) | |
※1:真空排气装置为可选配置
※2:加热温度会因被加热物体的红外反射/吸收特性、热容量以及材质的不同而有所差异。
观察正在加热的样品
如果安装用于样品观察的CCD摄像头单元,就可以将加热过程中样品的变化情况导入电脑中。

在热处理的同时测量电阻率
只需将其替换到电阻测量单元中,并连接到您手头的数字万用表上,即可在进行加热的同时测量电阻率。

通过液氮喷雾实现快速冷却
从1000℃快速冷却到0℃,仅需2秒。


MILA5000-P-N型**升温速度
样品尺寸:W20×L20×t0.5(mm),材质为镍板。
工作环境为真空状态。
额定参数为:200V、4kW,100%功率

MILA5000-P-N型温度分布
样品尺寸:W20×L20×t0.5(mm),材质为镍板
环境条件:真空环境
温度测量点数:TC(K)

MILA5000-P-F型的**升温速度
样品尺寸为W20×L20×t0.5(mm),材质为镍板。
加热环境为真空状态
其额定参数为200V、1kW,100%功率

MILA5000-P-F型温度分布
样品尺寸:W20×L20×t0.5(mm),材质为镍板
环境条件:在N2气体流动环境中
温度测量点数(单位:K)