用于CMP工艺过滤的高效深度过滤器
用于化学机械抛光工艺的Profile II型深度过滤滤芯，能够有效去除氧化物、钨和铜浆料中的聚集颗粒及凝胶，同时不会扰乱颗粒的分布状态。这类滤芯具有极高的过滤效率，因此几乎不会带走那些有用的浆料颗粒，同时却能大幅减少超大颗粒的残留。
这类深度过滤器的过滤精度可在0.2微米到40微米之间，其过滤精度是传统深度过滤器的5到10倍。此外，它们还拥有均匀分布的孔结构，从而可实现预过滤功能。
全新滤芯结构与过滤机制
滤芯外侧部分（锥形孔结构→延长过滤寿命）
该部分孔径随向内延伸而逐渐减小，从而实现高效预过滤；凭借连续的孔径变化与深度过滤效应，可显著延长过滤寿命
滤芯内侧部分（恒定孔径结构→可靠过滤）
该部分孔径保持恒定且均匀，可实现精准过滤。
材质
| 过滤介质 | 聚丙烯（Polypropylene） |
| 支撑芯 | 聚丙烯（Polypropylene） |
| 端盖、外笼（MCY、AB 系列） | 聚丙烯（Polypropylene） |
| 端封（RMF 系列） | 桑普雷恩（Santoprene）¹ |
¹ 桑普雷恩（Santoprene）为埃克森美孚化工公司商标
适用外壳
| RF 系列 | 请使用 R 系列外壳 |
| MCY 系列 | 请使用 M 系列外壳 |
| RMF 系列 | 请使用 M 系列外壳 |
| AB 系列 | 请使用相同 O 型圈规格的 A 系列外壳。规格 20 可在线进行蒸汽灭菌 |
（注）在 40℃以上高温条件下使用时，请与各营业所咨询。
特点与优势
■ 具备额定过滤精度
■ 无滤材转移或剥离现象
■ 低压降
■ 无异物泄漏
■ 高集尘能力
■ 广泛的流体适用性
规格
| 耐压差 | 0.41 MPa（约 30 ℃） 0.34 MPa（约 50 ℃） 0.21 MPa（约 70 ℃） 0.10 MPa（约 82 ℃） |
| 使用温度 | MAX 82 ℃ |
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