维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪
用于半导体湿法工艺的实时在线化学浓度测量
维萨拉 Polaris™ PR53S 是一款紧凑型在线折光仪，专为半导体液体化学应用设计。其改良的 PTFE 流通池和 ¼-1 英寸 Pillar 或 Flare 式连接，可实现与湿法机台、化学分配系统及工艺工具在混合、清洗、蚀刻和 CMP 步骤中的无缝集成。
PR53S 可在洁净室环境和集成工艺工具中持续实时测量化学浓度，帮助在多个阶段实现精准的工艺控制。
凭借高度准确、可靠且可重复的测量，PR53S 能够通过在线折射率测量，替代在批量分配、混合和使用点监测等环节中使用的复杂且昂贵的分析仪。
为要求严苛的化学品和研磨液提供稳定一致的化学控制
可对多种化学品进行准确测量，包括要求严苛的研磨液应用。即使存在气泡、颗粒或晶体，也能保持可靠性能，确保在实际工艺中提供稳定、可信的数据。
Polaris PR53S 非常适合精细化工和半导体行业中的化学品混合与监测，传承了维萨拉 K-PATENTS® 在线折光仪系列 40 余年的创新成果。作为新一代 PR53 系列的一部分，它为现代工艺环境带来了更高的分辨率和更佳的兼容性。
适用于维萨拉 Polaris™ 在线折光仪的 Indigo80
使用 Indigo80 无需停机即可配置和校准探头，记录各个探头的数据用于快速诊断，并轻松识别潜在的维护需求。
Insight 电脑软件
使用免费的 Insight 软件，即可从电脑桌面访问您的仪表、校准 PR53S，并下载新的化学曲线。
测量性能
精度依据校准参考标准规定，包含非线性、滞后误差，测试环境：+20 ℃（+68 ℉）
| 折射率 | |
| 测量范围 | 1.32–1.53 nD（对应 0–100 °Bx） |
| 精度 | ±0.0002 nD（0.1 °Bx） |
| 重复性（置信系数 k=2，包含随机噪声，环境温度 Ta=+20 ℃(+68 ℉)，启用标准低通滤波） | ±0.0000033 nD |
| 分辨率 | ±0.000001 nD |
| 默认阻尼下响应时间 T₆₃ | 10 s（启用标准低通滤波） |
| 测量周期 | 1 次 / 秒 |
| 长期稳定性 | MAX 0.1 % 满量程 / 年 |
| 温度 | |
| +20 ℃(+68 ℉) 条件下精度 | ±0.3 ℃（0.54 ℉） |
| 传感器等级 | F0.15 IEC 60751 |
| 温度系数 | ±0.002 ℃/℃ |
| 工艺温度 | -20 … +85 ℃（-4 … +185 ℉） |
| 压力 | 20 ℃时：10 bar；130 ℃时：4.5 bar（68 ℉：145 psi；266 ℉：652 psi） |
| 储存温度 | -40 … +65 ℃（-40 … +149 ℉） |
| 工作温度 | -20 … +45 ℃（-4 … +113 ℉） |
| 工作海拔 | MAX 2000 m（约 6500 ft） |
| 工作湿度 | 0–100 %RH |
| 储存湿度 | 0–100 % RH，无冷凝 |
| 防护等级 | IP66、IP67 |
| 棱镜与蓝宝石平板 | 单晶蓝宝石，99.996 % 氧化铝 Al₂O₃ ¹） |
| 流通池 | 超纯 PTFE ¹） |
| 棱镜密封垫片 | 改性 PTFE ¹） |
| 工艺密封垫片 20.2 × 3 mm（0.8 × 0.1 in） | Kalrez W240UP ¹） |
| 外壳 | PVDF |
| 接头 | 不锈钢 |
| 电缆 | PEX 或 FEP |
| 电磁兼容（EMC） | EN 61326-1，工业环境FCC part 15 B，B 类CAN ICES-3(B)/NMB-3(B) |
| 合规标识 | CE、中国 RoHS、KC |
| 振动与冲击 | 依据 IEC 60068-2 标准测试 |
输入与输出
| 供电 | 额定工作电压 | 24 V DC（范围 9–30 V DC） |
| 功耗 | ＜1 W | |
| 防护等级 | 3，PELV | |
| 过电压类别 | I | |
| 输出 | 输出参数 | 折射率、温度、浓度、品质系数 |
| 模拟输出 | 电流信号 | 源型输出、隔离型，符合 NAMUR NE 43，可配置 |
| 电流范围 | 3.8–20.5 mA | |
| 负载 | MAX 600 Ω | |
| +20 ℃模拟输出精度 | ±0.1 % 满量程（±0.0002 RI） | |
| 支持协议 | HART 7 | |
| 输出参数 | 浓度 | |
| 数字输出 | 数字接口 | RS-485，非隔离 |
| 线缆长度 | MAX 300 m（约 1000 ft，数字信号） | |
| 支持协议 | Modbus RTU | |
| 连接器 | 外部接头 | 1 × M12 8 针 A 编码公头可搭配转接器 1 × M12 4 针 A 编码公头连接 USB2、Indigo80 需选配转接线缆 USB2 转接器搭配 Insight 软件使用 |
校准配件
| 验证套件（折射率：1.33, 1.37, 1.42, 1.47, 1.52） | 280380SP |
| 校准套件（折射率：1.32, 1.33, 1.35, 1.36, 1.37, 1.38, 1.40, 1.42, 1.45, 1.47, 1.50, 1.52, 1.53, 1.57） | 278292SP |
| 配件名称 | 编码 |
| 维萨拉 Insight 电脑软件 USB 转接器 | USB2 |
| M12 4 针转 8 针转接电缆 | CBL211714 |
| 5 m（16.5 ft）M12 开放式线缆 | 278421 |
| 10 m（33 ft）M12 开放式线缆 | 285771 |
| 1/4 英寸 扩口式接头流通池本体 | F2-025-TM |
| 3/8 英寸 扩口式接头流通池本体 | F2-038-TM |
| 1/2 英寸 扩口式接头流通池本体 | F2-050-TM |
| 3/4 英寸 扩口式接头流通池本体 | F2-075-TM |
| 1 英寸 扩口式接头流通池本体 | F2-100-TM |
| 1/4 英寸 立柱式接头流通池本体 | P2-025-TM |
| 3/8 英寸 立柱式接头流通池本体 | P2-038-TM |
| 1/2 英寸 立柱式接头流通池本体 | P2-050-TM |
| 3/4 英寸 立柱式接头流通池本体 | P2-075-TM |
| 1 英寸 立柱式接头流通池本体 | P2-100-TM |
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