内置气驱式柱塞泵的高压水生成装置，集气压调节器、气压表、出口压力表等功能于一体，适用于设备集成。
用作高压喷射清洗工具，用于晶圆的IPA清洗以及通过溶剂进行剥离等操作。
KPW 系列为一体化成套高压泵机组，内置 SSBL 系列气动柱塞泵，整合调压组件、压力监测仪表、管路阀件与安装机架，出厂完成管路集成调试，便于整机对接清洗设备。
纯气动驱动，无需供电，可部署于防爆无尘车间；支持外部 I/O 及串行通讯，实现启停、压力设定远程管控。整机适配晶圆高压 IPA 喷淋清洗、溶剂剥离工艺，输送纯水、IPA、NMP 等药液，对比单独采购泵头，可减少现场管路组装、调试工作量。多用于半导体湿法清洗设备配套、精密零部件高压喷射清洗工况。
| 型式 | KPW系列 |
|---|---|
| 吐出压力 | KPW-20：0.98～9.8MPa KPW-30：1.47～14.7MPa KPW-37.5：1.76～17.6MPa |
| 吐出流量 | KPW-20：1.13升/分钟 KPW-30：0.71升/分钟 KPW-37.5：0.58升/分钟 |
| 驱动气压 | 0.05～0.5MPa |
|---|---|
| 空气消耗量 | 约70L（泵的冲程数为60SPM时） |
| 接液密封 | 纯水、IPA……FKM NMP……卡雷茨 |
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