对CMP用浆料中的颗粒进行无稀释度测量
● 通过CMP技术监测浆料中含有的粗大颗粒物
● 可安装于使用点，无需稀释即可直接进行测量
● 通过在线监测实现对划痕缺陷的早期发现
● 适用于制造现场的持续监控
规格表
| 触控面板 | 1. 测定条件设定 2. 测定开始、停止 3. 趋势曲线图 4. 数据数值列表 5. 报错信息列表 |
| 外部输出 | 1. 可通过触控面板经由以太网向上位计算机传输数据 2. I/O 系统 8 点继电器输出配置 |
| 粒径区分（2 档） | 3 μm 以上、5 μm 以上 |
| 测定可变范围 | 选择 3 μm 规格：MAX 25 μm 选择 5 μm 规格：MAX 40 μm |
| 额定流量 | 60 mL/min |
| 电源 | AC100 V、50/60 Hz |
| 接口规格 | PFA 3/8 英寸 |
| 外形尺寸・重量 | 480(H) × 300(W) × 300(D) mm，14 kg |
CMP颗粒传感器 KS-71
| 光学方式 | 遮光式 |
| 光源 | 半导体激光（波长 780 nm，额定输出 3 mW） |
| 激光产品等级 | Class1，符合 IEC 60825-1:2001 |
| 受光元件 | 光电二极管 |
| 额定流量 | 60 mL/min |
| 试样导入加压 | 300 kPa（表压）以下 |
| 试样温度范围 | 15 ℃～35 ℃（检测池部位不可结露） |
| 接液部件材质 | 合成石英、PFA |
| 可测粒径 | MIN 3 μm |
| 可测粒径 | MAX 25 μm（若有大于 25 μm 颗粒通过，峰值精度会下降） |
| 粒径区分（2 档） | 3 μm 以上、5 μm 以上 |
| 计数效率 | 50 ±10 %（纯水中，粒径接近 5 μm 的 PSL 粒子，在 3 μm 档位与参照仪器对比条件下） |
| 额定粒子个数浓度 | MAX 62000 个 /min |
| 电源（由外部控制接线端子供电） | 输入电压范围：DC9 V～28 V 功耗：MAX 3.0 VA |
| 使用温湿度范围 | 15 ℃～35 ℃、85 % RH 以下（不可结露） |
| 保存温湿度范围 | −10 ℃～50 ℃、90 % RH 以下（不可结露，流路内液体不可冻结） |
| 外形・重量 | 51 (H) × 107 (W) × 58 (D) mm（不含凸起部位），约 400 g |
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