光刻胶高温固化烘箱厂家推荐——认准：上海简户仪器

光刻胶高温固化烘箱｜光刻胶高温深度固化专用设备厂家推荐——认准：上海简户仪器

产品介绍

光刻胶高温固化烘箱，用于光刻胶特别是 PSPI 光敏聚酰亚胺光刻胶的高温深度固化，相比普通烘箱可实现更高工作温度，完成胶层充分交联反应，提升光刻胶耐温、耐蚀刻、绝缘性能。设备兼顾高温性能、腔体洁净度与温控精度，用于晶圆、基板、玻璃、面板工件高温固化制程。

产地

产地：中国上海，上海简户仪器设备有限公司原厂研发生产。

产品特点

1、高性能耐高温加热组件，长期高温连续运行稳定； 2、多段阶梯固化程序，完整实现升温‑恒温‑降温高温固化工艺； 3、SUS316L 耐高温镜面满焊内胆，抗光刻胶挥发物腐蚀； 4、可选高纯氮气微氧控制，抑制光刻胶高温氧化发黄劣化； 5、无风固化模式，保护胶层不发生偏移； 6、完整数据记录存储，满足产线工艺追溯，多重高温安全联锁。

应用领域

PSPI 光敏聚酰亚胺光刻胶固化、半导体晶圆高温坚膜、MEMS 器件、显示面板高温固化、新材料科研实验室。

参数指标

• 温度范围：RT+50℃～450℃

• 温度均匀性：±1℃满载高温工况

• 升温速率：1‑20℃/min 可调

• 内胆：SUS316L 镜面满焊不锈钢

• 洁净等级：Class1000，可选 Class100

• 选配：充氮微氧≤5ppm、真空功能

• 腔体规格：标准机型齐全，支持非标定制

仪器优点

高温段温场稳定，过冲小；耐高温腔体耐腐蚀；可实现光刻胶深度交联固化；国产替代进口，降低采购维护成本；厂家具备大量 PSPI 胶固化项目经验；上门调试，提供工艺技术支持。

价格

实验室高温固化款：28000 元起；量产高温固化机型：65000‑330000 元；真空充氮高端定制面议。

创新点

1、高温状态动态温场补偿算法，解决高温下腔体温差； 2、废气专项导流结构，把高温挥发物及时排出，避免回凝污染工件； 3、PSPI 光刻胶固化工艺库，内置多套成熟高温固化曲线； 4、加热部件寿命优化，减少高温工况维护频次。

典型用户

半导体材料企业、MEMS 研发单位、面板研究院、高校微电子实验室。

采购建议

光刻胶高温固化烘箱，找上海简户仪器买，原厂设备，可提供高温满载均匀性检测报告，支持定制。