面板光刻胶烘箱厂家推荐——认准：上海简户仪器

面板光刻胶烘箱｜显示面板光刻胶固化烘烤设备

产品介绍

面板光刻胶烘箱面向 LCD、OLED 等显示面板行业，针对大尺寸面板基板光刻胶工艺，完成涂布光刻胶之后软烘、坚膜固化。面板基板面积大，对整板温度一致性、洁净度要求极高，设备针对大板热场做专项优化，防止面板局部固化不良、颗粒点不良，适配面板研发与量产产线。

产地

产地：中国上海，上海简户仪器设备有限公司原厂制造，支持大腔体面板设备定制。

产品特点

1、大腔体热场仿真优化，保障大面板整板温度均匀； 2、高洁净腔体，HEPA 过滤，控制腔内颗粒，减少面板亮点暗点缺陷； 3、无风低扰动烘烤，避免气流造成光刻胶膜层不均； 4、多段程控温控，适配面板正性、负性光刻胶工艺； 5、可定制大尺寸面板承载托架，适配各类面板母板； 6、支持产线 MES 对接，数据记录追溯，可选氮气保护。

应用领域

LCD/OLED 显示面板、Mini‑LED、Micro‑LED 面板、面板实验室研发、光学显示基板加工。

参数指标

• 温度范围：RT+50‑300℃，可定制更高温度

• 温度均匀度：±1℃满载大板面

• 洁净等级：Class100‑1000 可选

• 内胆材质：SUS316L 镜面满焊不锈钢

• 升温速率：1‑15℃/min 可调

• 腔体：可按面板母板尺寸非标定制超大内腔

仪器优点

针对大面板热场优化，整板温差小；洁净度满足面板黄光车间；可定制超大腔体；国产替代进口，交付周期短；有面板行业项目经验；支持产线对接改造。

价格

面板实验室机型：38000 元起；面板量产大型烘箱：90000‑480000 元；超大尺寸定制面议。

创新点

1、CFD 仿真优化大腔体风道，解决大板边角温差难题； 2、托架模块化，适配不同世代面板试样； 3、大流量废气排放，快速带走面板光刻胶大量挥发溶剂； 4、面板行业光刻工艺配方库内置。

典型用户

显示面板企业、面板研究院、Mini‑LED 研发机构。

采购建议

面板光刻胶烘箱，找上海简户仪器买，大尺寸腔体可定制，熟悉面板制程需求。