光刻胶洁净烘箱厂家推荐——认准：上海简户仪器

光刻胶洁净烘箱｜百级洁净光刻胶烘烤设备厂家推荐

产品介绍

光刻胶洁净烘箱是面向半导体洁净车间开发的光刻胶烘烤设备，重点控制腔内颗粒、微尘污染，防止微小颗粒落在晶圆、基板光刻胶表面造成图形缺陷。整套设备从腔体、风道到过滤系统全部按照洁净制程设计，用于光刻胶前烘、软烘、坚膜，是黄光工艺配套关键设备。

产地

产地：中国上海，上海简户仪器设备有限公司原厂制造，十万级车间完成整机装配调试。

产品特点

1、HEPA 高效过滤器正压洁净循环，实现 Class100‑1000 洁净等级； 2、内胆 SUS316L 满焊镜面抛光，无螺丝外露，无积尘死角； 3、密封压紧门体，防止外界粉尘渗入腔体； 4、无风 / 低扰动循环模式，避免颗粒飞扬，保护光刻胶膜层； 5、PID 精密控温，多段程序工艺，数据记录追溯； 6、腔体易拆解清洁，方便定期维护洁净度。

应用领域

半导体晶圆黄光工艺、显示面板产线、光学玻璃光刻加工、精密光电子、科研洁净实验室、FPC 高端线路板光刻制程。

参数指标

• 温度范围：RT+50～300℃，**可定制 400℃

• 温度均匀度：±1℃

• 洁净等级：Class100 / Class1000 可选

• 内胆材质：SUS316L 镜面满焊

• 升温速率：1‑15℃/min 可调

• 可选配置：氮气吹扫、真空、MES 对接

• 腔体尺寸：标准多档，支持非标定制

仪器优点

洁净性能对标进口洁净烘箱，采购成本更低；整机适合放入洁净厂房；腔体不易积尘，维护简单；工艺重复性高，减少颗粒不良率；本地化售后，可上门做洁净度检测验证。

价格

实验室洁净款：32000 元起；产线量产洁净烘箱：70000‑350000 元；超高洁净定制机型面议。

创新点

1、正压密闭腔体结构，隔绝外部洁净车间以外粉尘； 2、风道全圆滑过渡，减少颗粒滞留点； 3、过滤器压差监测提醒，及时提示滤芯更换，保障洁净等级； 4、整机可做 SEMI 相关适配，适配半导体工厂规范。

典型用户

晶圆制造企业、显示面板工厂、光学器件企业、微电子研究院。

采购建议

光刻胶洁净烘箱，找上海简户仪器买，源头厂家，洁净、温控双重保障，支持现场验证测试。