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高纯碳化硅粉(技术跃升)
由传统磨料级碳化硅产业绿色转型,依托自产超高纯石墨原料,成功实现高纯纳米级β相与a相5N+碳化硅粉自主研发与稳定量产。该材料纯度≥99.9995%,成为第三代半导体(SiC/GaN)的基石材料;满足6/8英寸SiC单晶衬底高效同质外延需求;助力第四代超宽禁带半导体(Ga2O3/金刚石)发展;通过国家重大专项验证,实现产业化生产线规模化量产。
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