一、简要介绍
结构介绍
该设备为真空或者气氛保护条件下的晶体生长设备,样品处理位于刚玉管内,刚玉管两端均有真空法兰密封。上端通过压缩波纹管和真空旋转接头与电机相连。可满足样品在真空或者气氛条件下的旋转和提拉。
性能
保温材料采用真空吸附成型的氧化铝纤维无机材料,环保节能,不含污物,洁净,美观。加热元件采用优质硅钼棒,性能优越,环形加热结构设计,提高设备使用稳定性。
控温方式:采用智能 PID 程序控制,控温精度高、重复性好,具有超温和断偶报警功能。方便用户自行探索所长晶体*适合的温度梯度。
提拉机构控制系统:采用伺服电机系统,提拉速度均匀稳定,改善单晶生长环境。
籽晶杆
设备固定装置预留好连接杆的固定装置,可用于连接铂金丝或者提拉杆。(铂金丝用户自配)标配有1套提拉杆,用于连接客户生长晶体所用的籽晶杆。
二、技术参数
型号 | LFT1700C 100D80-TSSG VC |
设备重量 | 150KG |
外型尺寸(长*宽*高) | 775*720*2310mm |
额定功率 | 4KW |
额定电压 | AC220V |
空气开关 | 25A |
**温度 | 1650℃(<1hr) |
额定温度 | <1600℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 模糊 PID 程序控温 (自整定调节 30段可调程序控温) |
热电偶型号 | B型 |
加热元件 | 硅钼棒 |
加热区尺寸 | 100mm |
炉管尺寸 | Ф80*700mm |
提拉速度 | 1-100mm/h |
旋转速度 | 1-100r/min |
升降速度 | 40mm/min(可手动控制) |
提拉行程 | 200mm |