这是一款定制组合式PECVD设备。该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，3点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
2、射频组件
500W射频机组，可以使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效。
3、气路柜组件
可控制多种气体按照不同流量进行混合配比，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成，外形美观，操作简便，数据直观可读。
加热总功率 | ≤7KW |
额定电压 | 220V |
**温度 | 1200℃ |
工作温度 | ≦1100℃ |
升温速率 | ≦10℃/min |
加热元件 | 电阻丝 |
加热区长度 | 200+200+200mm |
热电偶 | K型热电偶 |
控温方式 | 模糊PID控制和自动整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 | ±1℃ |
设备尺寸 | 2700x600x1250mm |
设备重量 | 约180KG |
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