一、产品特色

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

2、气路系统可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比，另外单独2路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气参与反应。气路管路及阀门，精工件都采用316L材质。

3、反应管组件

反应管组件使用耐高温刚玉管，石英管两端安装可旋转磁流体，采用步进电机驱动进行旋转。

4、射频组件

大功率射频发生器，配合石英反应管可使整个实验腔体都处于辉光区域，反应均匀。

5、蒸发系统

采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式，确保蒸发源有足够的反应温度

6、真空系统

双真空泵联动结构，配合尾气中和罐，可对实验产生的尾气进行处理

7、智能控制系统          

采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

二、技术参数