一、设备组成
滑轨进料系统、加热系统、组合型收集系统、预热及真空系统、工控及操作系统。
1、叉车式进料系统：
轨道滑动式进出料模式，配备5层加热托盘支架每一层2个托盘且上下左右密封，且每一层支架配备加热元器件，加热温度可控，且托盘可从托盘支架上自由装/卸。每一层托盘支架外侧配备进气口，给腔体提供气流导向。门板与腔体之间采用加装护照和石墨密封，即可防止材料沉积到门板上，也可维持基础真空。
2、加热系统
加热腔体采用氧化铝陶瓷纤维制品与加热丝一体成型设计，金属内腔体，测温元件采用K型热偶，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号。
3、组合型收集系统
收集区由两个收集腔体组成，与加热腔体连接处的部分，配备加热系统，温度可控。另外一节收集腔体，配备可滑动装置，方便收集腔体取料、拆卸、清理。收集管底部配备风冷系统，尾端配备舱门以及排气接口与机械泵连接。
4、预热及真空系统
进气系统配备预热装置，预热的气体从装料托盘进气口接入、经过主加热腔体再从收集
管道排出。设备配备机械泵和电阻真空计，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
5、工控及操作系统
配备15寸工控屏，集加热、真空、数据处理等控制为一体。
二、产品特色
1、轨道滑动式进出料模式，配备载料托盘，可通过跟换托盘来实现连续升华；
2、每层托盘都配备加热系统，且温度可控，温场均匀；
3、配备气体引流系统，辅助材料升华后沉积到收集区；
4、采用触摸屏控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录；
5、设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便。
三、技术参数
整体尺寸 | 长*宽*高 6500*1400*1855mm（进料滑轨打开） 备注：放料托盘划出与加热主腔体预留500mm间隙 | |
控制柜尺寸 | 长*宽*高=950*500*2000mm | |
整机重量 | ≤2000kg，每平方承重约400-500kg | |
滑轨式进料系统 | 单个托盘尺寸 | 长*宽*高=800*640*50mm |
单个托盘重量 | 约10kg | |
托盘数量 | 5层10个 | |
托盘材质 | 304不锈钢 | |
通气 | 每一层托盘上下左右密封，且每层双边配备吹起口，配备质量流量计可控制进气均匀性 | |
加热系统 | 腔体尺寸 | 长*高*高深=900*1000*1400mm（以实机为准） |
使用温度 | 450℃ | |
**温度 | ≤600℃ | |
保温材质 | 氧化铝陶瓷纤维 | |
加热元件 | 加热棒 | |
测温元件 | K型热偶 | |
密封方式 | 石墨密封 | |
升温速率 | 1-15℃/min，可调 | |
控温方式 | 人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制 | |
内腔体材质 | 304不锈钢 | |
收集系统 | 收集管尺寸 | 带加热区Φ400*500mm，可拆卸 |
带隔热防护区Φ400*1300mm，带滑轨，可拆卸 | ||
腔体连接法兰 | 异形定制 | |
冷却方式 | 风冷 | |
加热方式 | 加热丝 | |
排水 | 配备排水装置 | |
预热及真空系统 | 预热温度 | 400℃ |
炉管尺寸 | Φ100mm | |
加热元件 | 电阻丝 | |
温控系统 | 30段可编程控温，PID参数自整定，具有超温和断偶报警功能 | |
加热区长度 | 400mm | |
机械泵 | BSV30，抽速30m³/h | |
真空计 | 成都正华，电阻规 | |
真空范围 | ≤100Pa | |
排气接口 | KF25/40 | |
工控及操作系统 | 控制方式 | 15寸触控屏 |
功能实现 | 整合设备各部件开关，真空、加热等控制，软件通讯功能稳定可靠，可视化温度且数据实时记录且可导出 | |
电 | 30KW，整机使用电源380V，三相五线制； | |
三色灯 | 黄灯为待机，绿灯为运行，红灯为报警 | |
报警防护 | 超温声光报警 | |
热电偶故障声光报警 | ||
生产结束声光报警 | ||
前级泵异常声光报警 | ||
配备机械式急停按钮 | ||
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