氮化铝基板烧结炉
设备特点:
设有强制的冷却系统和独立的进排气结构
温度要求高，可达到2400℃高温，且炉内温度稳定
可根据客户要求，提供炉膛、炉胆尺寸定制，可以更好的配合生产
设备用途:
电子陶瓷金属共烧(氮化铝、氧化铝、氧化铍等)
钨金属纯化、石墨纯化、陶瓷金属化、蓝宝石长晶等;
退火、烧结;氮化铝长晶，
设备规格:
有效区:卧室-石墨热场(Graphite box):410x410x600/410x410x1800
加热器:石墨管/钨网/钨板式
隔热屏材料:超高纯石墨化硬毡/钨钼复会屏
**装炉量:300kg~1000kg
**设计温度:2050℃℃~30009℃
极限真空:5pa
温度均匀性:±5°C
工艺气氛:氨气/氢气/氫气/氟
充气压力:≤0.05mpa
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