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INFOVION公司是韩国专业生产真空蒸镀溅射设备的厂家,其产品精度高、稳定性好,具有高性价比,并成功引入微电子所等中国企业,得到用户的广泛认可。
工艺腔:9个有机分子源,单片玻璃尺寸(100*100mm/0.5~0.7t),优良的均匀性(≤±3%),可有效控制沉积速率,精确衬底对准销对准,过渡舱模块,机械警真空转移试样:
手套箱:单工位,内含旋转涂膜和UV固化:
控制系统:菜单式操作、数据记录、参数设置,全OLED蒸镀设备OLED蒸镀设备OLED蒸镀设备自动电脑控制,带互锁。
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