| 气体种类 | 测量范围 | 分辨率 | 示值误差 | |
| **误差 | 相对误差 | |||
| 流量 | (4～12) m3/min | 0.01 m3/min | —— | ±4%（F•S） |
| O2 | （0.3～25）×10-2 | 0.1×10-2 | ±0.1×10-2 | ±5% |
| 温度 | -30℃～150℃ | 0.1 ℃ | ±1 ℃ | —— |
| 压力 | 70.0kPa～110.0kPa | 0.1 kPa | ±0.5 kPa | ±3% |
| 零点/量程漂移 | O2：±2.5%FS | |||
| 重复性 | 流量：±2%FS；O2：相对标准偏差不大于1.5% | |||
| 响应时间 | O2：5 s | |||
| 预热时间 | <3 min | |||
| 相对湿度 | 0~95% | |||
| 工作电源 | AC220V±10%，50 Hz±1Hz | |||
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