Kashiyama真空泵SDE系列
1.可达到200kL/min.
2.*适合大尺寸晶圆和FPD使用。
3.经得起各种工艺的考验。
KASHIYAMA真空泵SDE系列规格
规格书 /产品介绍 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
**抽速[L/min] | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
极限压力[Pa] | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | ||
电源电压(50/60Hz) | 3 Phase AC200～220V，380～480V | ||||||
尺寸[mm] 宽W*高H*长L | W:400 H: 780 L:930 | W:450 H: 950 L:1000 | W:450 H: 950 L:1000 | W:750 H: 1200 L: 1600 | W:800 H: 1580 L:1320 | W:850 H: 1220 L: 1600 | W:1000 H: 1980 L:1850 |
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