全站

  • 全站
  • 资讯
  • 产品
  • 厂商
  • 资料
  • 百科
  • 招聘
  • 会展
  • 图片
当前位置:
首页 > 采购中心 > 供应信息 >
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
  • 型号

    卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
  • 产地

    湖南
  • 品牌

    顶立科技
  • 产品分类

    气体保护炉
  • 关注度

    2175
  • 参考报价

产品详情

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低;

使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)产品规格

参数\型号HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
工作区尺寸W×H×L(mm)600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30002500×2000×3500
**温度(℃)15001500150015001500
温度均匀性(℃)±7.5±7.5±10±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组


在线询价

* 联系人

* 联系电话

* 单位名称

邮箱

地址

* 留言

* 验证码

联系电话
关闭
虚拟号将在180秒后失效,请在有效期内拨打
为了保证隐私安全,平台已启用虚拟电话,请放心拨打.(暂不支持短信)
使用微信扫码拨号
是否已沟通完成
您还可以选择留下联系电话,等待商家与您联系
*需求描述:
*单位名称:
*联系人:
*联系电话:
Email:
(请留下您的联系方式,以便工作人员及时与您联系!)