衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)
工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)
前驱体路数:**支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶
加热系统:可加热温度范围:RT~150℃
反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)
载气:标准:N2, MFC 流量控制(可定制)
等离子体系统:支持4路等离子体气体(可定制)
射频功率:0~1000W
压力监测:双薄膜规组合(耐腐蚀),0.005Torr - 1000Torr
本底真空度:<5x10-3 Torr
真空系统:标准油泵
控制系统:19寸显示器,支持触控工业级嵌入式工控机,高可靠性,支持扩展
操作系统:Win7 操作系统,工业级可编程逻辑控制器,支持现场总线与实时多任务处理操作
高温加热模块:独立的源瓶加热模块,可支持RT~200℃