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FGL(RTP)系列滑轨式管式炉(Tmax1100℃)
滑轨式管式炉一体什结构设计,用干1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后
移动到样品处，达到快速升温。适合使用广泛的RTPT艺及CVD石墨烯工艺。
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