1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高
2. 技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.
3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试
4. 全自动集成度高,安装维护简便
5. 一键式操作软件,快速简单
6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性
1. 光谱范围:450-1000 nm
2. 多种微光斑自动选择
3. 光斑可视技术,可观测任何样品表面
4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探测器