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技术参数:
1. 分辨率: 1.0nm@30KV(SE); 3.0nm@1KV(SE) ; 2.5nm@30KV (BSE)
2. 放大倍率: 6倍-1000000 倍
3. 电子枪:肖特基场发射电子枪
4. 加速电压: 0~30kV
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