该设备具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。完全彻底地清除样品表面的有机污染物。定时处理、快速处理、清洗效率高。 绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。
技术参数
反应舱规格 | Φ350*L600mm(石英材质) |
反映舱有效容积 | 54L |
密封法兰 | 可视化观察窗折页开门结构 |
输入电源 | 220V/50Hz |
整机输入功率 | 500W |
射频功率 | 0-500W（连续可调） |
射频频率 | 13.56MHz |
常用工作气体 | 空气、氩气、氮气或混合气体等 |
进气口 | Φ6双卡套接口 |
整机规格 | 长*宽*高：800*400*1050mm |
整机重量 | 150KG |
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