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设备用途：本设备为30kg氧化亚硅设备，主要用于氧化亚硅的高温反应制备及收集，兼有一般高温气氛炉的功能。设备由炉体、炉门及其锁紧装置、加热系统、充放气系统、真空系统、电气控制系统、水冷却系统、变压器及联接电缆等组成。
特色与优势：
1.设备炉体上设有真空预抽气口和小抽速抽气口，有利于粉料烧结时不易被抽出。
2.设备配置一路自动充放气系统，由压力传感器及电磁阀形成闭环控制系统，可对炉内气氛压力进行控制。
3.设置多点控温/测温，可实时控制、监测工艺烧结过程中的温度变化。
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