简介
1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
主要技术参数
炉体结构 | 整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构； 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好； 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳； 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却； 支撑两端安装油压缓冲器； 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm；170kg |
电源 | 电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
炉管 | 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空； 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷； 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑； 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合。 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝，表面负荷高、经久耐用； 加热区长度：300mm；恒温区长度：150mm； 工作温度：≤1150℃； **温度：1200℃； 升温速率：推荐≤10℃/min，*快升温速度30℃/min |
温控系统 | 日本富士仪表，64段控温程序，可分步、分段； 测温元件：N型热电偶； 控温精度：±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵，真空度可达10Pa |
可选配件 | 高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件 |
保修期 | 整机一年保修（相关耗材除外） |
可根据客户要求定制！
特色与优势
1.滑动式炉体结构实现快速升降温；
2.开启式炉盖设置，降低沉积温度、加快沉积速度；
3.日本富士温控仪表，64段控温程序，可分布，分段，三路质量流量计，数字显示精确控制气体流量；
4.双极旋片真空泵+分子泵，实现对真空度的不同要求，极限真空可达4.0*10-4Pa。
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