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主要技术指标
◆X射线管：铜靶，阳极接地，强制风冷
◆管电流：0～4mA，连续可调
◆管电压：30KVP
◆整机功率：不大于2KW
◆控制方式：计算机
◆射线窗口控制：电动光闸
◆测量精度：±15″
◆射线管和探测器运动方式：计算机控制联动或单动
◆探测器电压：闪烁探测器500V～1100V
◆可测晶棒重量：20Kg
◆可测晶棒、晶片直径：2～8英寸
◆可测**长度：400mm
◆整机外形尺寸：1020×950×1900(mm)
◆重量：350Kg
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