手持式四探针方阻测试仪
一.概述Overview:
参照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》,采集集成电路恒流源系统,提供便捷的操作模式,便携式外型结构,可充电式电源系统,待机时间长,上下限设定.
手持式四探针方阻测试仪
二.功能介绍Function introduction:
手持式外型结构适用于车间生产、品管抽检,外出、携带测量等要求测量的场所;也适用于中小型半导体材料生产企业.
手持式四探针方阻测试仪
三.技术参数Technical Parameters:
规格型号Specification model | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
1.方块电阻范围sheet resistance | 10~2.00×102Ω/□ | 10~2.00×103Ω/□ | 10~2.00×104Ω/□ |
2.电阻率范围resistivity | 1~2×103Ω-cm | 1~2×104Ω-cm | 1~2×105Ω-cm |
3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.显示读数display | 液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. | ||
5.测试方式test mode | 单电测量single electrical measurement | ||
6.工作电源working power | 5V.1000mA | ||
7. 误差errors | ≤4.5%(标准样片结果standard samples) | ||
8.选配choose to buy | 选配1.方形探头; 选配2.直线形探头;探针间距;选配3:探针间距1mm;2mm;3mm三种规格; 选配4:探针材质:碳化钨针;镀金磷铜半球形针square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles. |
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