ZL850型多晶硅铸锭炉技术指标 | |
硅锭尺寸 | 996mm×996mm×370mm |
生产率 | 750kg～850kg/炉 |
生产周期 | 800kg锭～74hr,产能～9.5MW/年 |
**温度 | 1600℃ |
常用工作温度 | 1560℃ |
硅锭生长速率 | 1.0-1.2cm/hr |
炉内极限真空度 | 1Pa |
系统漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
氩气 | ～140m3/锭 |
冷却水 | 约140L/min |
额定加热功率 | 165kW |
每炉加热器功耗 | ～4400度（投料800kg） |
其他能耗 | ～650度 |
单位能耗 | ～6.8度/kg |
铸锭良率 | 平均大于70%（正常配料） |
转换效率 | 17.5%-17.7% |
准单晶生产能力 | 具备 |
高效多晶生产能力 | 具备 |
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