ZL1200型多晶硅铸锭炉技术指标 | |
硅锭尺寸 | 996mm×996mm×535mm |
生产率 | 1000kg～1200kg/炉 |
生产周期 | 1000kg锭～80hr,产能～11.5MW/年 |
**温度 | 1600℃ |
常用工作温度 | 1560℃ |
硅锭生长速率 | 1.0-1.2cm/hr |
炉内极限真空度 | 1Pa |
系统漏率 | <0.0075Pa. m3 /s |
氩气 | ～160 m3 /锭 |
冷却水 | 约140L/min |
控温点数量 | 顶部、侧面分区控温（2个控温点） |
额定加热功率 | 200kW |
每炉加热器功耗 | ～5000度（投料1000kg） |
长晶控制辅助 | 气冷辅助成核装置（选配） |
其他能耗 | ～800度 |
单位能耗 | ～5.8度/kg |
铸锭良率 | 平均大于72%（正常配料） |
转换效率 | 17.5%-17.7% |
准单晶生产能力 | 具备 |
高效多晶生产能力 | 具备 |
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