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硅微粉是一类用途广泛的无机非金属材料。
硅微粉是将高纯度的石英矿通过物理或化学方法破碎、粉碎而得到的微米级别的粉末,其颗粒大小一般在1-100微米之间,常用的颗粒大小为5微米左右,而随着半导体制程的进步,我司可达到2.5微米。
1.结晶性——SP220、SP315 2.干法型——SP10
3.湿法型——SP5 4.熔融型——RG115
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