设备型号：TEMD600
镀膜方式：E 型电子枪
真空腔室结构：立式圆柱形侧开门结构，后置抽气系统
真空腔室尺寸：Φ600mm×H750mm
加热温度：室温～ 300℃
基片台尺寸：平板型 Φ350mm，或球罩型基片台 ( 可选 )
膜厚不均匀性：≤ ±5.0%
考夫曼离子源：可选
蒸发源：电子枪 10KW，６穴坩埚，国产／进口（可选）， 配２套电阻蒸发
控制方式：PLC/PC（可选）
占地面积：L2500mm×W1600mm
总功率：≥ 17kW
大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
1. 设备一体化设计，占地面积小，性价比高，性能稳定，使用维护成本低；
2. 可用于生产线前期工艺试验等；
3. 实验室制备导电薄膜、半导体膜、光学薄膜等，可同手套箱复合使用。
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