设备名称：钙钛矿大面积蒸发设备
设备型号：ZHDY600
镀膜方式：点源蒸发
真空腔室结构：立式方箱结构
真空腔室尺寸：L600mm×W600mm×H520mm（镀膜室）
极限真空：优于5.0x10-⁵Pa
基片台尺寸：300mm×300mm
基片温度：80℃以下
膜厚不均匀性：≤±5.0%（300mmx300mm范围内）
蒸发源：高低温点源
膜厚监控系统：国产或进口多探头（可选）
控制方式：PLC + 触摸屏控制
占地面积：L2400mm×W1200mm×H2000mm
总功率：≥16KW

1. 技术先进、设计优化，性价比高，性能稳定，使用维护成本低。

2.大面积，复合型，批量制备，洁净真空不同功能复合涂层制备，可获得更高电池转换效率。

3.广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。