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设备名称：大面积平板镀膜设备
设备型号：JCPF1600~4500
真空系统：国产或进口分子泵 / 低温泵 + 罗茨泵 + 机械泵高真空系统
极限真空：优于 2.0×10-4Pa
抽速：从大气到 3.3×10-3Pa ≤ 30min 升压率关机 12 小时后真空度≤ 10Pa
工件架尺寸：可根据尺寸定制
工件烘烤温度 ：室温～ 300℃，可调可控（PID 控温）
配置：矩形磁控靶、弧源、离子源、偏压可选
系统：全自动控制系统，个性化的 Tech-Coating 控制菜单，安全保护系统
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