应用领域
GKS系列扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺，同时也用于石英制品的退火、稀有金属粉末和发光材料的煅烧等工艺。
设备型号： | GKS(D)-09/90/3 | GKS(D)-18/110/3 | GKS(S)-09/90/3 | GKS(S)-18/110/3 |
**温度： | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ |
使用温度： | RT～1000℃ | RT～1000℃ | RT～1000℃ | RT～1000℃ |
控制精度： | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
温区个数： | 3个 | 3个 | 6个 | 6个 |
炉管材质： | 高纯石英 | 高纯石英 | 高纯石英 | 高纯石英 |
发热元件： | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝 |
加热区长度： | 900mm | 1100mm | 900mm | 1100mm |
炉管尺寸： | Ф90×1800 | Ф180×2100 | Ф90×1800 | Ф180×2100 |
加热功率： | 7.5Kw | 15Kw | 15Kw | 30Kw |
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