氮化硅压力烧结炉（卧式）
产品描述：
氮化硅压力烧结炉（卧式）主要用于半导体领域氮化硅陶瓷制品的真空烧结和气压烧结等。
应用范围：
氮化硅陶瓷球、轴承、导热基板、平台、导轨、刀具、结构件等。
采用特殊的炉胆结构和加热器布置，炉温均匀性好；
全密闭马弗，密封效果好，抗污染能力强；
可具备真空烧结、压力烧结、负压脱脂烧结等功能；
具有超温超压等故障报警，机械式自动压力保护，动作互锁等功能，设备安全性高；
可选配脱脂系统，实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理；
适于工艺气氛：N2/Ar/H2。
| 型号/参数 | HPSF-4412 | HPSF-5518 | HPSF-6615 | HPSF-6618 | HPSF-9915 |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 400×400×1200 | 500×500×1200 | 500×500×1800 | 600×600×1800 | 900×900×1500 |
| **温度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 温度均匀性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| **压力（MPa） | 10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 | ＜10 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢/Q345
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC
热电偶：K/N/C/S分度号（钨套管/陶瓷套管）
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