碳化硅烧结炉（卧式）
产品描述：
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围：
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等
可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术，能在高温条件下长时间使用；
采用特殊的高温红外测量技术，控温准确，误差小；
全密闭马弗，密封效果好，抗污染能力强；
多级高效尾气处理系统，环境友好，易清理；
可选配脱脂系统，实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理；
适于工艺气氛：N2/Ar。
| 参数\型号 | HSC-050511 | HSC-100612 | HSC-101015 | H(D)SC-101050 |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 500×500×1100 | 1000×600×1200 | 1000×1000×1500 | 1000×1000×5000 |
| **温度（℃） | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 |
| 温度均匀性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质：等静压石墨/CFC/陶瓷
热电偶：K/N/C/S分度号
红外仪：单比色/双比色
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