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在近红外线区域具有峰值的光纤光源装置，通过与专用光学系统、近红外线区域具有灵敏度照相机一起使用Si芯片的内部检查和背面图案的观察等非破坏性检查。
专用选项
※可设置波长选择带通滤波器*可搭载机械快门
※可搭载256级数字调光板*模拟调光板(控制电压(0-5V)*并行调光板(并行8位数字信
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