产品介绍

泽攸科技ZS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的创新之作，凭借升级的技术架构、更广泛的应用场景及更稳定的测量性能，可对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度 LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着深度应用。

作为国产科学仪器的进阶成果，ZS系列台阶仪进一步巩固了在高端表面测量设备领域的国产替代优势，凭借更高精度表现与定制化服务优势，成为国内高校、科研机构及高端制造企业的优选设备。

特点

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比

应用范围

▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲ 各式薄膜等应力测量

▲ 3D扫描成像

▲ 计划任务和多点扫描

系统组成

▲ 一体式台阶仪

选配品

▲ 高度校准标样

技术参数

软件界面

扫描图

18nm样品

68um样品