标题：
美格负极材料CVD包覆真空炉 真空后包覆气体
技术参数：
装料罐尺寸Φ1200 X 23000，产能100kg/h，工作温度950℃，极限温度1050℃，真空度5-10Pa，气氛类别：Ar/N2，总功率580KW，工序时长4H。
产品特点：
初始真空度8-10Pa,氧含量不高于50PPM， 连续进出料，有机气体裂解碳源与硅料形成包覆；节省氮气使用量95%，能耗降低 30%
适用于动力电池负极材料CVD气相包覆
关键词：
真空回转炉、CVD包覆、回转真空炉、动力电池硅负极材料、大容量低能耗真空炉，CVD包覆真空量产回转炉
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