简介：本设备是氧化亚硅真空蒸镀制备的专用设备，其中反应室为钼丝电阻加热，收集区为金属筒结构，有效蒸发区域不低于15L。
特色与优势：
1.设备炉体上设有真空预抽气口和小抽速抽气口，有利于粉料烧结时不易被抽出。
2.加热元件采用高纯钼丝和刚玉组件加工而成，放置于反应区，热量辐射到坩埚对产品进行加热，保证有效加热区的温度均匀性及加热效率。
3.反应区坩埚、收集区收集仓均采用便携可拆结构，方便取放。
项目 | 内容 |
电力总功率 | 约32 kW |
工作温度 | 1350 ℃ |
有效工作区 | 反应区：Ф220×600㎜ |
冷态极限真空度 | 6.67× 10 -3Pa（冷态、空炉、加热除气后） |
加热元件 | 钼丝加热 |
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