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1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炉
2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）
3.工艺描述：三温区设计，合金内胆，温差控制精度3℃，高温高真空，具备脱水，混炼反应，提纯等工艺，反应充分，成品率高（约70%-80%）
装料尺寸
装载量
工作温度
极限温度
真空度
总功率
气氛类别
工序时长
MGB15-85HH
Φ150 * 850
0.12M3
1350°C
1600℃
0.1* 0.5pa
35KW
Ar/N2
16H/炉
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