

HKT‑Master0.01AAL 是 HKT‑Master0.01AA 的大尺寸石质底座版本,除测量台支架结构外,其余核心硬件参数与 0.01AA 完全一致。配置 200mm×150mm 大型花岗岩测量台,可放置大尺寸板材、大规格陶瓷静电卡盘、大面积光学基板等大尺寸试样。分辨率 0.01μm,量程 0‑500μm,恒定 0.14N 气动低压下压,R30 硬质合金球面测头,重复测量精度 0.1μm。花岗岩底座刚性强、形变极小,规避大样品自重带来台面微变形,保障测量稳定性。支持 RS232C/USB 通讯,对接电脑软件采集、存储、导出厚度数据,可搭配脚踏开关,满足半导体、光学行业中大尺寸工件多点厚度检测,适合实验室精密质检与来料检验,遵循 ASTM D374、GB/T 6672 测试标准,AC100‑240V 宽电压供电。
〈规格〉
※除测量支架外,其他产品规格均与HKT-Master0.01AA相同
●测量支架/石制基准型
尺寸:约(长)200mm ×(宽)150mm ×(高)300mm
特点
大型花岗岩石质测量台,台面 200×150mm,专门适配大尺寸基板、大型静电卡盘等常规小台面无法放置的工件,拓展大试样检测能力。
花岗岩底座刚性高、热变形小,抑制大件样品自重造成台面微形变,保障亚微米级测量稳定,解决大工件测值漂移问题。
继承 0.01AA 全套核心精密单元,0.01μm 超高分辨率、0.14N 恒定低压气动下压,兼顾大样品兼容与超高测量精度,无需改动核心测量组件。
气动匀速下压机构,无冲击接触试样,避免划伤高价值陶瓷、光学基材;球面硬质合金测头耐磨,降低长期使用维护成本。
完整数据输出功能,可实现大工件多点扫描测量,记录全区域厚度分布,输出报告,满足半导体零部件品质追溯需求;脚踏开关解放双手,大件样品摆放操作更便捷。