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日本 Energys SH-30系列 锆石式(氧化锆)微量氧分析仪 O₂计
日本 Energys SH-30系列 锆石式(氧化锆)微量氧分析仪 O₂计
  • 型号

    SH-30系列
  • 产地

    日本
  • 品牌

  • 产品分类

    气体检测仪
  • 关注度

    116
  • 参考报价

    1万元以下
产品详情

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产品的主要特点

  • 由于传感器、接收器、采样机制与滤波器被整合在一体结构中,因此安装后即可立即进行测量。

  • 重量轻且体积小,便于安装在各种设备上。

  • 可检测微量浓度(*低范围:0~10ppm)

用途

  • 半导体制造设备、各种N2炉内气氛检测、空气分离装置

规格

形式SH-30*系列
传感器TF-21
受信器DTF-201
测定原理锆石浓淡电池方式
测量范围*小值:0~10ppm;**值:0~25%。可固定零点,并选择任意4个测量范围。
※输出范围可设置为0~10ppm至0~100%之间。
校正空气点 + 可进行**4点的校正(可针对每个测量范围进行校正)
模拟输出DC 4~20mA,非绝缘输出,负载电阻低于600Ω
DC 0~1V / DC 0~5V/ DC 0~10V,可单点选择(非绝缘输出)
样品气体、校准气体流量0.3升/分钟、0.5升/分钟
精度重复性±1%FS(低于0~1%范围),±0.5%FS(高于0~1%范围)
线性性±3%FS(0~100ppm范围以内),±2%FS(0~1%范围以内),±4%FS(0~1%范围以外)
响应时间30秒以下(低于0~1%范围),10秒以下(在0~1%范围内)(通过切换校准气体可实现90%的响应速度)
漂移±2%FS/周 以下
供给电源交流电源规格:交流电压100~240伏特,允许误差为±10%;频率为50/60赫兹,功率为50伏安。
直流电源规格:直流电压24伏特,允许误差为±10%,功率为50瓦特。
接点输入范围切换(无电压触点)
接点输出无电压继电器触点输出(AC 30V,DC24V,3A电阻负载)
触点数量:*多4路输出
可选功能:范围回传1/范围回传2/浓度上限警报/浓度下限警报
范围切换本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换
输出保持功能输出保持值设置:无保持※ / 任意数值 / 异常发生前5秒的数值
※在预热期间或分析仪出现异常时,不进行保持
浓度上下限警报上限警报:0.0~9990.0ppm或0.0~100.0%,可进行设置
下限警报:0.0~9990.0ppm或0.0~100.0%,可进行设置
通信功能不同机型的通信功能各不相同。(如RS-232C通信、EtherCAT®通信等)
详情请咨询我们。


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